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如何将卧式冷凝泵安装做的更好

发布时间:2022-07-07浏览:283次

   卧式冷凝泵主要是利用低温表面的冷凝气体。冷凝泵获得清洁真空的极限压力极低,抽气速率极大,更是广泛的应用在半导体和集成电路的研究生产领域。除此之外,在真空真空镀膜设备、真空表面分析仪器等装置方面,冷凝泵也发挥着不可替代的作用。既要满足生产工艺要求又不造成电能的浪费,因此保持凝结水泵的安全可靠运行显得至关重要。凝结泵的安装方法:

 
  1、冷凝泵为单基础结构,即为简体与安装板相联位于基础层下的地坑里,而吐出弯管悬吊转子与安装板相连,电机则垂直安装在吐出弯道上,与冷凝泵刚性连接或弹性连接。
 
  2、冷凝泵的吸水室为密闭的外简体内腔,外间体上的吸入口位于基础层的下的地沟里并与冷凝器排水管相连接;而冷凝泵的吐出口方向均为水平方向。
 
  3、位于外间体内的吸入喇叭口、吸入段(泵体)、中段、导叶、泵盖、密封环、轴承、吐出段等通过穿杠、压水接管连接成为泵本体而悬吊在吐出弯道上。
 
  4、泵的转子部件由首级叶轮、次级叶轮,轴套、锁紧螺栓、间隔套、挡套、套筒联接器主轴等组成。
 
  5、根据流量要求吸入条件,首级叶轮为双吸形式,而次级则为单吸导叶型或单吸斜流型。
 
  6、为平衡筒体吸入内腔与冷凝器内的压力,排出吸入室内的气体,改善和稳定吸入室内外气体,改善和稳定吸入性能,在冷凝泵和吸水室之间设有平衡管理系统。