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带你进一步了解什么是冷凝泵

发布时间:2021-07-29浏览:138次

   冷凝泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵。它获得清洁真空的极限压力zui低、抽气速率最大的真空泵,被广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空表面分析仪器、真空镀膜设备、离子注入机和空间模拟装置等方面。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势,被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域,如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。

  
一、泵的安装
  1、开箱后检查泵和电机,如果证实没有任何因装、卸和运输过程中造成的损坏和紧固连接件松动,泵的进出口封盖完好,无污物等进入泵内,则可直接送到使用现场去安装。
  
  2、安装泵的基础平面应用水平仪找平,待基础水泥凝固后,将泵安装在基础上,并用水平仪校正底座,应严格检查泵轴和电机轴的同心度,联轴器外圆偏移允差0.1毫米,两联轴器端面间隙一周上最大和最小的间隙差别不得超过0.3毫米。
  
  3、泵的吸入管路和压出管路应设有支撑,不允许管路的重量直接由泵来承受,检查管路,仪表等接口处密封是否良好。
  
二、结构说明
  1、品种
  N型冷凝泵为卧式悬臂单级、两级离心泵,共分8个品种。单级的有3N6、4N6、100N130;两级的有2.5N3X2、3N6X2、4N6X2如图2;单级带诱导轮的有6N6、150N110
  
  2、折叠支承部分
  支承部分主要件有托架、前后铀承压盖和铀组合定位在托架上的前后径向滚珠铀承上,滚球铀承亦承受未被平衡的铀向力。用稀油润滑,油量可从油标看出。前后铀承压盖均装有毛毡密封圈做为铀封以防漏油。管堵处的孔用来灌油。清洗换油时从丝孔将油放出。
  
  3、折叠密封和传动
  泵采用软填料密封,在铀封处装有可更换的铀套。泵通过弹性联铀器由电动机驱动,从传动方向看,泵为逆时针方向旋转。