冷凝泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，是获得清洁真空的极限压力zui低、抽气速率最大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势，被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域，如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。
一、泵制冷原理：
驱动He气通过压缩机的压缩后,以高压形态供给冷冻机,将蓄冷器和气缸的室温侧连在一起,借助切换阀接在He气压缩机的高压与低压侧。此外,再将蓄冷器和气缸切换到低温侧,气缸内有一个活塞连杆,借助曲柄连杆机构上下移动。为使G-M循环冷冻机更小型化紧凑化,在活塞杆内采用了蓄冷器构造。
用活塞密封被隔气缸内的压缩气体,通过活塞的上下移动,使里面的被隔气体膨胀,就可使其吸收外部的热量。如果,从外部传入的热量较少或者根本没有,处于断热状态,气体本身就会降温。这种吸收外部热量下降自身温度的过程,从能量守恒的角度来分析,正好与活塞对外做的功相等。这就是制冷的基本原理。
二、冷凝泵用什么控制方式最好？温度还是压力？
这要看泵是用在什么地方的，具有什么直接相关的关键参数需要与泵同时控制。比如在热水器上面大多都是用压力来控制的，在空调上面既不是温度也不是压力，而是靠程序来*控制。
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